氣密性試驗方法(真空艙法)
試驗原理與方法
1試驗原理
將組合閥門與增壓管路連接,置于真空艙體中。測試時,將組合閥門用純氦氣加壓至試驗壓力,當組合閥門存在泄漏時,氦氣進入真空艙并被吸入檢漏儀,檢漏儀顯示出漏率。
C.2試驗裝置、設備和儀器
試驗裝置、設備和儀器應滿足以下要求。
a) 檢漏儀應采用氦質譜檢漏儀，氦質譜檢漏儀應滿足GB/T 13979的技術要求。
b)標準漏孔應選擇薄膜滲氦型標準漏孔，標準漏孔漏率Q應不大于1×10-7 Pa·m3/s。.
c)真空艙容積應與組合閥門尺寸相適應,真空艙內表面應進行電化學拋光處理。
d)檢漏系統(tǒng)校準完畢后,試驗裝置應具備直接顯示系統(tǒng)有效最小可檢漏率的功能。
e) 試驗裝置應能自動、準確、實時地顯示、記錄和保存包括時間、壓力和泄漏率等在內的試驗數(shù)據(jù),根據(jù)采集的泄漏率和時間數(shù)據(jù)，自動繪制時間、壓力、泄漏率曲線圖。時間、壓力、泄漏率的數(shù)據(jù)采集頻率不低于3次/s。實時存儲的所有原始試驗記錄應不可更改。
氦泄漏檢測
C.4.3.1保持標準漏孔前端閥門關閉,啟動檢漏儀,待氦質譜檢漏儀讀數(shù)穩(wěn)定時記錄背景讀數(shù)Ms。當M1×S1≤Q時,繼續(xù)測試。
C.4.3.2用氦氣將組合閥門增壓至試驗壓力,完成增壓后需靜置。
C.4.3.3完成靜置后開始檢測,達到檢測時間ts后,記錄儀器輸出讀數(shù)M。若輸出信號不穩(wěn)定,延長
檢測時間至輸出信號穩(wěn)定。